碘化钽 Tantalum(V) Iodide

　　碘化钽，又名五碘化钽，化学式TaI₅，CAS：14693-81-3，分子量815.47，是一种对水分极其敏感的黑色固体。它的熔点在496℃左右，密度为5.8g/cm³。这种物质在空气中容易吸潮并水解，高温下则分解为金属钽和碘单质。

　　凭借这种易分解的特性，碘化钽主要的用途是制取高纯度钽。同时，它也是半导体工业中一种关键的挥发性前驱体，广泛用于化学气相沉积和原子层沉积工艺制备钽基扩散阻挡层和高介电常数薄膜。此外，它还能用于钽金属的回收提纯。

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