2,2-二氟-3-(甲基丙烯酰氧基)戊酸乙酯

　　2,2-二氟-3-(甲基丙烯酰氧基)戊酸乙酯,CAS：1092693-69-0,是一种含氟甲基丙烯酸酯类单体。分子式C₁₁H₁₆F₂O₄，分子量250.24，纯度大于98%，常温下为无色透明液体，需在2~8°C冷藏密封保存。

　　该化合物是合成光刻胶的关键含氟单体，广泛应用于半导体制造、平板显示及微电子器件精密加工等领域。分子中的二氟基团能有效降低材料介电常数并增强抗蚀性，使其非常适用于193nm及更高的光刻工艺，满足高分辨率、低线宽边缘粗糙度的苛刻要求。此外，它也作为有机氟化试剂用于含氟聚合物制备，并在显示面板、集成电路等领域的细微图形加工作业中发挥重要作用。

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